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描述

MEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析，實現(xiàn)了與傳統(tǒng)的顯微鏡實現(xiàn)完美結(jié)合，標準分析口徑大小為15 微米和18微米（可小可做到4微米），可在室溫大氣環(huán)境中測試，也可在特定的環(huán)境中測試。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實時元素分析。

系統(tǒng)特點

LIBS分析與目視檢測顯微鏡的相結(jié)合

266nm紫外激光光源 20Hz

分析口徑：15µm 或8µm ( 可小可到4µm)

具有配置衰減器的激光光束整形功能

系統(tǒng)中配置攝像機

配置自動三維調(diào)節(jié)臺可用來校準激光

聚焦和對樣品進行序列測量

技術(shù)參數(shù)

激光器類型           脈沖Nd:YAG

波長                 266nm

頻率                 20Hz

激發(fā)光能量穩(wěn)定性     ± 5% RMS up to 1mJ (on 100 shots)

波長范圍             180to950 nm（取決于所選的光譜儀）

探測器類型           ICCD

激光器出射光直徑     15µm or 8µm

探測極限             ppm—幾千ppm（取決于所測試元素種類）

數(shù)據(jù)獲取時間         <1%